电机一体化的成长大致能够分为3个阶段。20世纪60年月之前为第一阶段，这一阶段称为低级阶段。在这临时代，人们自觉不自觉地操纵电子手艺的开端功效来完美机器产物的机能。出格是在第二次天下大战时代，战斗安慰了机器产物与电子手艺的连系，这些电机连系的军用手艺，战后转为民用，对战后经济的规复起了主动的感化。那时研制和斥地从整体上看还处于自觉状况。因为那时电子手艺的成长还没有到达必然程度，机器手艺与电子手艺的连系还不能够遍及和深切成长，已斥地的产物也没法大批推行。
      20世纪70~80年月为第二阶段，可称为兴旺成长阶段。这临时代，计较机手艺、节制手艺、通讯手艺的成长，为电机一体化的成长奠基了手艺根本。大规模、超大规模集成电路和微型计较机的迅猛成长，为电机一体化的成长供给了充实的物资根本。这个时代的特色是：①mechatronics一词起首在日本被遍及接管，约莫到20世纪80年月末期在天下规模内获得比拟遍及的认可；②电机一体化手艺和产物获得了极大成长；③列国均起头对电机一体化手艺和产物赐与很大的存眷和撑持。
      20世纪90年月前期，起头了电机一体化手艺向智能化标的目的迈进的新阶段，电机一体化进入深切成长时代。一方面，光学、通讯手艺等进入了电机一体化，微细加工手艺也在电机一体化中崭露头脚，呈现了光电机一体化和微电机一体化等新分支；另外一方面临电机一体化系统的建模设想、阐发和集成方式，电机一体化的学科系统和成长趋向都停止了深切研讨。同时，因为野生智能手艺、神经收集手艺及光纤手艺等范畴获得的庞大前进，为电机一体化手艺斥地了成长的广漠六合。这些研讨，将促使电机一体化进一步建立完全的根本和逐步构成完全的迷信系统。
      我国是从20世纪80年月初才起头在这方面研讨和操纵。国务院建立了电机一体化带领小组并将该手艺列为“863打算”中。在拟定“九五”计划和2010年成长纲领时充实斟酌了国际上对于电机一体化手艺的成长意向和由此能够带来的影响。很多大专院校、研讨机构及一些大中型企业对这一手艺的成长及操纵做了大批的任务，已获得了必然功效，但与日本等进步前辈国度比拟仍有相称差异。